中科飞测：套刻精度量测设备和纳米图形晶圆缺陷检测设备等产品正按计划进行

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中科飞测：套刻精度量测设备和纳米图形晶圆缺陷检测设备等产品正按计划进行：中科飞测在互动平台表示，套刻精度量测设备和纳米图形晶圆缺陷检测设备等产品正按计划进行。